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用于基底携带装置和装载锁定装置的门驱动机构
| 专利名称： | 用于基底携带装置和装载锁定装置的门驱动机构 |
| 摘要： | 提供一个系统，用来批量地把半导体晶片由一个轻便的携带装置（３２）装载进一个装载锁定装置（２２）中。该携带装置被支承在邻近于一个装载锁定腔室。一个与该装载锁定腔室有关的多高度的端部操纵装置（８４）包括多个隔离开的端部操纵装置组（９２）。把晶片作为一组接合，同时把晶片作为一组收回，随后把它们保持在装载锁定腔室中，用来接着一次一片地把晶片运送进一个相邻的运送腔室（２８）中。在由携带装置把多个晶片运送到装载锁定腔室中之后，把携带装置和装载锁定腔室密封起来，并把装载锁定腔室和运送腔室抽空。设置有多种机构，用来移动端 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 布鲁克斯自动化公司 |
| 发明人： | R·S·慕卡; M·W·皮品斯; M·A·德鲁 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1996-07-02T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN96196791.9 |
| 公开号： | CN1195332 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 崔幼平; 林长安 |
| 分类号： | B65G49/07 |
| 申请人地址： | 美国马萨诸塞州 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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