专利名称: | 用于基底携带装置和装载锁定装置的门驱动机构 |
摘要: | 提供一个系统,用来批量地把半导体晶片由一个轻便的携带装置(32)装载进一个装载锁定装置(22)中。该携带装置被支承在邻近于一个装载锁定腔室。一个与该装载锁定腔室有关的多高度的端部操纵装置(84)包括多个隔离开的端部操纵装置组(92)。把晶片作为一组接合,同时把晶片作为一组收回,随后把它们保持在装载锁定腔室中,用来接着一次一片地把晶片运送进一个相邻的运送腔室(28)中。在由携带装置把多个晶片运送到装载锁定腔室中之后,把携带装置和装载锁定腔室密封起来,并把装载锁定腔室和运送腔室抽空。设置有多种机构,用来移动端 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 布鲁克斯自动化公司 |
发明人: | R·S·慕卡; M·W·皮品斯; M·A·德鲁 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 1996-07-02T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN96196791.9 |
公开号: | CN1195332 |
代理机构: | 中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人: | 崔幼平; 林长安 |
分类号: | B65G49/07 |
申请人地址: | 美国马萨诸塞州 |
所属类别: | 发明专利 |