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工件传送方法及系统
| 专利名称： | 工件传送方法及系统 |
| 摘要： | 在一种工件传送方法中，在分别为相应于处理条件的多个处理单元组设置的多个储存架中临时存放被传送工件。当储存架中存放的工件数量超出储存架的容量时，在另一个可用的储存架中存放从相应储存架中溢出的工件。把存放在储存架中的工件传送到相应于处理条件的处理单元组中。本发明也公开了一种工件传送系统。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 日本电气株式会社 |
| 发明人： | 近藤浩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 1999-01-22T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN99100235.0 |
| 公开号： | CN1224237 |
| 代理机构： | 中科专利代理有限责任公司 |
| 代理人： | 姜丽楼 |
| 分类号： | H01L21/68 |
| 申请人地址： | 日本国东京都 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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