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原文传递半导体晶片放入/取出处理系统

专利名称：	半导体晶片放入/取出处理系统
摘要：	用于处理如半导体晶片类物品的处理器，包括限定封闭的洁净处理腔室的机箱和至少一个设在该腔室内的处理工位；邻接部分有连接开口，装有待处理物品的容器经开口被装入或从中卸载。邻接部分以卫生的方式与处理腔室分开。适于与所述容器密封的物品提取机构能够把被装于容器内的物品送入处理腔室内，而不使这些物品在所述邻接部分中暴露于周围的空气条件下。本物品处理器还包括物品插入机构，适于与放在邻接部分内的容器密封。
专利类型：	发明专利
申请人：	塞米图尔公司
发明人：	杰弗里·A·戴维斯;克尔特·L·多勒赫克;加里·L·柯蒂斯
专利状态：	有效
申请日期：	1998-12-15T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN98813428.4
公开号：	CN1284041
代理机构：	中科专利商标代理有限责任公司
代理人：	陈瑞丰
分类号：	B65G47/90
申请人地址：	美国蒙大拿州
所属类别：	发明专利