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原文传递吸气保持装置

专利名称：	吸气保持装置
摘要：	吸气保持装置10包括一个台子24，一个晶片保持装置H安装在该台子24上，并且吸气侧管道25连接到台子24上。台子24包括一个吸气平面28和一个室32，上述吸气平面28在其上面一侧具有多个吸气孔27，而室32与吸气孔27成流体连通。室32这样安排，以使它被分成多个相互隔开的单元37、38和39，并且，当从吸气平面28中取出晶片保持装置H时，将空气按顺序从台子24的外侧朝内侧独立地供给到相应的单元37-39上。
专利类型：	发明专利
申请人：	琳得科株式会社
发明人：	黑川秀二
专利状态：	有效
申请日期：	2002-12-04T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN02154788.2
公开号：	CN1422794
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	王彦斌
分类号：	B65H3/34
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利