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一种小型谐振式红外混合气体探测器
| 专利名称： | 一种小型谐振式红外混合气体探测器 |
| 摘要： | 本发明公开了一种小型谐振式红外混合气体探测器，该探测器由红外光源、准直透镜模块、光学微腔、分立色散探测器模块组成。该发明克服了传统的非色散红外气体探测技术对多种气体测量需要建立多个气体传感通道的问题，降低了传感器的制造成本，提高了传感器的集成度，实现了传感器的小型化；通过吸收红外光引起的薄膜体声波谐振器敏感结构微弱的温度变化，建立窄带红外光强度与薄膜体声波谐振器共振频率之间的变化关系，实现了对气体探测的快速响应、高探测灵敏度和高探测分辨率的优点；窄带通滤波器阵列窗口片和薄膜体声波谐振器阵列基片通过MEMS微加工方法制造，具有集成制造、批量生产、一致性好和成本低廉等优势。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 浙江;33 |
| 申请人： | 杭州能工科技有限公司 |
| 发明人： | 伞海生;王斌 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-10-18T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-12-20T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910993911.1 |
| 公开号： | CN110596034A |
| 代理机构： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) |
| 代理人： | 刘元慧 |
| 分类号： | G01N21/3504(2014.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 310002 浙江省杭州市西湖区玉皇山路阔石板52号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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