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基板输送装置
| 专利名称： | 基板输送装置 |
| 摘要： | 一种基板输送装置，在气缸的突出量增加时，如果磁圆板旋转，则利用作用于磁圆板之间的磁力，使磁铁与输送轴一起旋转，以比X-Y平面倾斜规定角度的状态支持输送轴。通过旋转输送轴，而由输送轴的小型输送辊向X方向输送基板。在气缸的突出量减小时，设在输送轴一端的磁圆板向从倾斜壁远离的方向移动，不在磁电极圆板之间作用磁力。此外，从倾斜规定角度的状态，向与X-Y平面平行的状态转换输送轴。此时，输送轴的小型输送辊的外周面的顶部位于大型输送辊的外周面的顶部的下方。由此，由大型输送辊支持基板。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 发明人： | 小原茂;冈田尚久;长田直之;南茂树 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-02-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410007075.9 |
| 公开号： | CN1532126 |
| 代理机构： | 中科专利商标代理有限责任公司 |
| 代理人： | 汪惠民 |
| 分类号： | B65G13/02 |
| 申请人地址： | 日本京都府 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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