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原文传递输送带传动机构

专利名称：	输送带传动机构
摘要：	一种输送带传动机构。为提供一种避免润滑液渗入制程反应室、防止污染基板制程环境、确保制程溶液浓度的半导体制造设备部件，提出本发明，它系用于传动将玻璃基板输送至制程反应室的输送带；其包括传动轴、齿轮组、设置于齿轮组外的第一润滑槽及设置于第一润滑槽外围以接收自第一润滑槽溢出润滑液的第二润滑槽；传动轴与输送带结合，以转动方式带动输送带及其上玻璃基板朝制程步骤的顺序方向移动；齿轮组结合并带动传动轴转动；第一润滑槽盛装润滑液，其设有第一排液管及藉以将润滑液注入第一润滑槽内的注液管；第一排液管的管口高度系设于第一润滑槽
专利类型：	发明专利
申请人：	友达光电股份有限公司
发明人：	薛裕耀;林奇锋
专利状态：	有效
申请日期：	2003-04-01T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN03121283.2
公开号：	CN1533970
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	刘领弟
分类号：	B65G49/07
申请人地址：	台湾省新竹市科学工业园区
所属类别：	发明专利