详情

原文传递板状体搬运装置

专利名称：	板状体搬运装置
摘要：	提供一种板状体搬运装置，其可以抑制向板状体下表面供给的清洁空气的波动、减轻对板状体的负荷、抑制板状体的破损。送风式支承装置(3)的构成为，备有：用于除去尘埃的除尘过滤器(12)，通过该除尘过滤器(12)向板状体(2)的下表面供给清洁空气的送风装置(13)以及以使通过了除尘过滤器(12)的清洁空气流动且用于阻止异物向除尘过滤器(12)一侧落下的方式进行遮蔽的遮蔽体(6)，遮蔽体(6)设置成与除尘过滤器(12)之间形成储存清洁空气的腔室(C)。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社大福
发明人：	森屋进;村山繁人;森本雄一;池畑淑照;大野隆佳
专利状态：	有效
申请日期：	2004-07-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410063505.9
公开号：	CN1576201
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	胡强;杨松龄
分类号：	B65G49/06
申请人地址：	日本大阪府大阪市
所属类别：	发明专利