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原文传递装载锁及使用其的装载锁腔室

专利名称：	装载锁及使用其的装载锁腔室
摘要：	本文揭示一种装载锁，在与适于依次从处理室转移基板的转移构件协作而加载复数个基板后，其将处于备用状态。本发明提供：装载锁，其增大其转移速率以有效率地向处理室或外部转移基板；及一使用该装载锁的装载锁腔室。根据本发明，装载锁包括：其上支持基板的复数个基板支持板，且其可垂直移动并以大于基板厚度的距离彼此间隔开；及驱动单元，其用于垂直移动基板支持板中的至少一个。
专利类型：	发明专利
申请人：	周星工程股份有限公司
发明人：	权永春;高富珍;崔宰旭
专利状态：	有效
申请日期：	2004-11-11T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410090651.0
公开号：	CN1618716
代理机构：	北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人：	王允方;刘国伟
分类号：	B65G49/05
申请人地址：	韩国京畿道
所属类别：	发明专利