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原文传递装载上锁技术

专利名称：	装载上锁技术
摘要：	公开了一种装载上锁系统、具有其的曝光装置和一种装载上锁方法。在一种优选形式中，装载上锁系统包括腔室，和用于改变所述腔室容积的容积改变系统。装载上锁方法包括步骤：将物体传送到腔室中；在传送步骤之后减小腔室的容积；以及在容积减小步骤之后减小腔室内的压力。
专利类型：	发明专利
申请人：	佳能株式会社
发明人：	春见和之
专利状态：	有效
申请日期：	2004-12-02T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200410094209.5
公开号：	CN1658380
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	王彦斌
分类号：	H01L21/68
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利