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原文传递高效能缓冲仓储装置

专利名称：	高效能缓冲仓储装置
摘要：	本发明是有关于一种缓冲仓储装置，包含一高架式输送轨道以及至少一输送系统或输送带。高架式输送轨道是供支撑多数个用来输送晶圆盒的高架式输送车。至少一输送系统或输送带是设于该高架式输送轨道下方，以供接收高架式输送轨道上的高架式输送车中的晶圆盒。举例来说，该缓冲仓储装置可吸收晶圆盒在仓储装置与制程机台间移动的过多流量；例如可促进在半导体制造厂中多数个输送车间具有一种有秩序且高效率的移动流量。
专利类型：	发明专利
申请人：	台湾积体电路制造股份有限公司
发明人：	马国蕾;黄智洪;江文忠;谢敏瑜;李虹慧
专利状态：	有效
申请日期：	2007-04-18T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710097915.9
公开号：	CN101071760
代理机构：	北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人：	寿宁;张华辉
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
所属类别：	发明专利