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原文传递基板输送装置

专利名称：	基板输送装置
摘要：	本发明提供一种基板输送装置，将被处理基板放在臂部件上，对基板处理部进行基板的送入送出，即使是大型被处理基板，也能利用设置于臂部件上的吸附垫片来可靠地吸附基板面，不会使基板松动来可靠地保持。基板输送装置(41)包括具有多个吸附垫片(56)的臂部件(51)，将被处理基板(G)放置在吸附垫片(56)上，对基板处理部进行被处理基板(G)的送入送出，其具有使吸附垫片(56)振动的振动设备；驱动振动设备的振动驱动设备(57)；和进行振动驱动设备(57)工作控制的控制设备(58)，在将被处理
专利类型：	发明专利
申请人：	东京毅力科创株式会社
发明人：	田上真也
专利状态：	有效
申请日期：	2005-09-30T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510107959.6
公开号：	CN1754796
代理机构：	北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人：	龙淳
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	日本国东京都
所属类别：	发明专利