详情

原文传递光路延时双脉冲LIBS装置

专利名称：	光路延时双脉冲LIBS装置
摘要：	本发明公开了一种光路延时双脉冲LIBS装置。本装置采用分光镜将一台激光器射出的激光光束分成两束，其中一束光经过聚焦后直接照射在待测样品表面，另一束光先通过光路延时器延迟一定时间，再经过聚焦，最后照射在待测样品表面。通过选择反射率和透过率不同的分光镜，可以实现分光光束能量的调整。通过调整光路延时器，可以改变延时光路的光程，从而改变两束激光的光程差，实现延迟时间的改变。相较于现有的双脉冲LIBS装置，本装置只需要一台激光器，不需要数字延时脉冲发生器，降低了系统成本，缩小了系统体积，有利于双脉冲LIBS装置的集成、推广和小型化。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	上海;31
申请人：	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人：	步扬;王远航;孙晨薇;徐静浩;王向朝
专利状态：	有效
申请日期：	2019-10-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-31T00:00:00+0800
申请号：	CN201911030570.4
公开号：	CN110632038A
代理机构：	上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	张宁展
分类号：	G01N21/63(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	201800 上海市嘉定区清河路390号
主权项：	1.一种光路延时双脉冲LIBS装置，包括脉冲激光器(1)，分光镜(2)，光程可调的光路延时器(3)，反光镜A(4)，反光镜B(5)，扩束准直聚焦透镜组A(6)，扩束准直聚焦透镜组B(7)，收集透镜(8)，光纤(9)，光谱仪(10)，计算机(11)和供待测样品(13)放置的位移台(12)；其特征在于：所述的脉冲激光器(1)发射的脉冲激光经分光镜(2)分为透射光和反射光，其中反射光经反光镜B(5)反射后，经扩束准直聚焦透镜组A(6)聚焦照射在待测样品表面；所述的透射光通过光路延时器(3)，然后被反光镜A(4)反射，经扩束准直聚焦透镜组B(7)聚焦后照射在待测样品表面；两束激光双脉冲照射在待测样品表面产生等离子体，等离子体发出的光由收集透镜(8)收集后，经光纤(9)传输至光谱仪(10)，光谱仪(10)与计算机(11)相连，可以对采集到的光谱进行分析；所述的计算机(11)控制位移台(12)将待测样品(13)移动到指定位置。 2.根据权利要求1所述的光路延时双脉冲LIBS装置，其特征在于：所述的分光镜(2)，采用透射率和反射率不同的分光镜，改变双脉冲LIBS光束能量的配比。 3.根据权利要求1所述的光路延时双脉冲LIBS装置，其特征在于，所述的光路延时器(3)，可通过调节延时光路内部结构，改变光程，调节激光通过光路延时器的时间，从而控制延迟时间。 4.根据权利要求1所述的光路延时双脉冲LIBS装置，其特征在于，所述的光谱仪自带外部触发模块和延时模块，通过与激光器相连，可调整激光产生和光谱采集之间延迟时间，优化采集光谱的信噪比。 5.根据权利要求1所述的光路延时双脉冲LIBS装置，其特征在于，通过调节两束入射到待测样品(13)的激光入射角度和光路延时器摆放位置实现正交再加热型双脉冲LIBS模式，正交预烧蚀型双脉冲LIBS模式，共线双脉冲LIBS模式，交叉型双脉冲LIBS模式这四种模式。
所属类别：	发明专利