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防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置
| 专利名称： | 防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置 |
| 摘要： | 防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置，检测装置包括：光 源、摄像机镜头、图像传输模块、计算机中心处理器、信息传送模块、信 息识别模块和报警装置。这些装置都是现有装置，根据本发明目的选择合 适的现有的装置，并将它们组装成按本发明的检测装置，用该检测装置实 时检测被托杆(1)支撑的晶片位置状态，防止用机械手从处理室内送/ 取晶片时机械手碰撞晶片造成晶片损坏。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 发明人： | 黎少荷;段志宽;黄 伟;黄连泉 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-12-22T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200410093467.1 |
| 公开号： | CN1797731 |
| 代理机构： | 上海新高专利商标代理有限公司 |
| 代理人： | 楼仙英 |
| 分类号： | H01L21/66(2006.01)I |
| 申请人地址： | 201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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