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薄板状物的位移量检测方法和位移量修正方法
| 专利名称： | 薄板状物的位移量检测方法和位移量修正方法 |
| 摘要： | 在薄板状物的取出、接纳时，进行支承臂的末端执行器(11) 上薄板状物的适当位置和错动位置的检测，并且有效地进行其修 正作业。检测机构(18)设置于支承臂(14)上，检测机构(18)呈コ字 形体，其开口位于末端执行器(11)侧，并且在薄板状物(2)通过时 不造成妨碍，具有进深。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 日商乐华股份有限公司 |
| 发明人： | 崎谷文雄 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2003-07-07T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN03826756.X |
| 公开号： | CN1802736 |
| 代理机构： | 北京三幸商标专利事务所 |
| 代理人： | 刘激扬 |
| 分类号： | H01L21/68(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本国广岛县 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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