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原文传递真空分配模块、真空吸盘及测试分选机

专利名称：	真空分配模块、真空吸盘及测试分选机
摘要：	本实用新型公开了一种集成电路芯片测试用真空分配模块、真空吸盘及测试分选机。真空分配模块包括真空分配仓、真空分配仓盖板及真空分配仓连接板，真空分配仓内设有环形真空室、真空孔道及压缩空气进气孔道，真空分配仓连接板内设有压缩空气出气孔道。真空吸盘上均匀分布真空吸嘴，吸嘴通过真空吸附芯片可以在不同工作站完成相应工作，其中吸嘴上真空的有无通过真空分配模块来进行切换，真空分配模块中通过真空孔道注入真空形成真空仓，空压通过外部电磁阀输入到压缩空气进气孔道，再通过真空分配仓、压缩空气出气孔道以及气管传递到真空吸笔。本实用新型的真空分配模块用于测试分选设备时，能够有效保证芯片的定位精度，提高设备运行效率，降低生产成本。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	江苏;32
申请人：	江苏信息职业技术学院
发明人：	芦俊;潘小华
专利状态：	有效
申请日期：	2019-03-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-12-31T00:00:00+0800
申请号：	CN201920351413.2
公开号：	CN209871723U
代理机构：	南京天翼专利代理有限责任公司
代理人：	王秀娟
分类号：	B65G47/91(2006.01);B;B65;B65G;B65G47
申请人地址：	214153 江苏省无锡市惠山区钱藕路1号
主权项：	1.一种真空分配模块，包括真空分配仓、真空分配仓盖板及真空分配仓连接板，其特征在于，所述真空分配仓内设有环形真空室、真空孔道及若干压缩空气进气孔道；所述环形真空室设于真空分配仓的上表面，开口端由真空分配仓盖板封闭，下端连通若干分支真空孔道，所述若干分支真空孔道的下端延伸至真空分配仓的下表面；所述真空孔道沿真空分配仓径向设置，开口位于真空分配仓的外周面，末端封闭，上端与环形真空室相通；所述压缩空气进气孔道沿真空分配仓径向设置，开口端位于真空分配仓的外周面，末端封闭，上端分别通过一个压缩空气支孔道A与环形真空室相通，下端分别连通一个压缩空气支孔道B，所述压缩空气支孔道B的下端延伸至真空分配仓的下表面；所述压缩空气支孔道B及分支真空孔道数量相等交叉设置，开口位于同一圆周上且沿该圆周均匀分布；真空分配仓连接板内设有若干压缩空气出气孔道，所述压缩空气出气孔道沿真空分配仓连接板径向设置，开口位于真空分配仓连接板的外周面，末端封闭，上端分别连通一个压缩空气支孔道C，压缩空气支孔道C的上端延伸至真空分配仓连接板的上表面，其开口位于同一圆周上且沿该圆周均匀分布；所述压缩空气出气孔道与压缩空气进气孔道一一对应设置，压缩空气支孔道C开口与压缩空气支孔道B的开口一一对应；真空分配仓与真空分配仓盖板固定连接；真空分配仓盖板连接外支架，由外支架限制其转动；真空分配仓连接板连接真空吸盘，在真空吸盘的带动下做360度转动；真空分配仓与真空分配仓连接板转动密封连接。 2.如权利要求1所述的真空分配模块，其特征在于，所述压缩空气进气孔道包括一个上压缩空气进气孔道及一个下压缩空气进气孔道，上、下压缩空气进气孔道均沿真空分配仓径向设置且沿其周向均匀分布，开口端位于真空分配仓的外周面，末端封闭；上压缩空气进气孔道与下压缩空气进气孔道通过一压缩空气支孔道D连通，上压缩空气进气孔道的上端连通压缩空气支孔道A，下压缩空气进气孔道的下端连通压缩空气支孔道B。 3.如权利要求2所述的真空分配模块，其特征在于，所述压缩空气支孔道A、压缩空气支孔道B及压缩空气支孔道D的孔径均小于压缩空气进气孔道，压缩空气支孔道C的孔径小于压缩空气出气孔道，压缩空气支孔道B、压缩空气支孔道C及分支真空孔道的孔径相等。 4.如权利要求1所述的真空分配模块，其特征在于，所述环形真空室的内外侧分别设有环形密封槽，密封槽内安装有密封圈。 5.如权利要求1所述的真空分配模块，其特征在于，所述真空分配仓的下表面设有环形凸台，压缩空气支孔道B及分支真空孔道的开口均位于所述环形凸台上。 6.如权利要求5所述的真空分配模块，其特征在于，所述分支真空孔道的开口端设有扇环槽，分支真空孔道的开口位于所述扇环槽内。 7.如权利要求1所述的真空分配模块，其特征在于，所述真空分配仓盖板上设有定位杆，定位杆上套接压缩螺旋弹簧，真空分配仓盖板通过所述定位杆与外支架连接，压缩螺旋弹簧处于压缩状态，其一端抵靠外支架，另一端抵靠真空分配仓盖板。 8.一种真空吸盘，包括转盘、若干气管及若干真空吸嘴，其特征在于，所述转盘上设有权利要求1～7任意一项所述的真空分配模块，所述真空分配模块通过其真空分配仓连接板与转盘固定连接，真空吸嘴沿转盘周向均匀分布于转盘上，各真空吸嘴分布通过气管与真空分配模块的真空分配连接板的各压缩空气出气孔道连通。 9.一种测试分选机，其特征在于，包括伺服电机、凸轮分割器、悬臂梁及权利要求8所述的真空吸盘；所述凸轮分割器的入力轴与伺服电机连接，出力轴与真空吸盘的转盘固定连接，伺服电机通过凸轮分割器带动真空吸盘做旋转以及上下运动；悬臂梁底端通过安装板固定安装在凸轮分割器的机座上，真空吸盘的真空分配仓盖板通过支架安装在悬臂梁的上端部。
所属类别：	实用新型