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缩短机台闲置时间的方法以及使用该方法的制造系统
| 专利名称： | 缩短机台闲置时间的方法以及使用该方法的制造系统 |
| 摘要： | 一种缩短机台闲置时间的方法。一自动物料搬运系统根据一卸载要求发 出一第一确认信息给一制造执行系统。该制造执行系根据该第一确认信息发 出一第二确认信息给一机台控制系统。该机台控制系统根据该第二确认信息 发出一卸载完成信息与一载入完成信息给该制造执行系统。该制造执行系统 根据该卸载完成信息与该载入完成信息通知该自动物料搬运系统搬运一批半 导体在制品至一操作机台，其中，该自动物料搬运系统在发出该第一确认信 息后，马上执行一卸载操作。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 发明人： | 徐 健 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-04-15T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200510065938.2 |
| 公开号： | CN1848364 |
| 代理机构： | 北京市柳沈律师事务所 |
| 代理人： | 王志森;黄小临 |
| 分类号： | H01L21/00(2006.01)I |
| 申请人地址： | 台湾省新竹市 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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