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一种用于接受工件的平台以及在这种平台上加工工件的方法
| 专利名称： | 一种用于接受工件的平台以及在这种平台上加工工件的方法 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于加工工件的设备，特别是大致平坦的基底，包 括用于支撑工件(5)的平台(2)，在工件(5)和平台(2)的顶面(17.1， 17.2)之间区域中平台(2)的顶面(17.1，17.2)上产生气流(22) 的流动生成装置(6，11)，工件(5)在加工过程中支撑在该气流上。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | OC 欧瑞康巴尔斯公司 |
| 发明人： | R·格伦德穆勒;J·梅尔;A·布彻尔 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-05-27T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200580017793.7 |
| 公开号： | CN1997575 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 刘华联 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 列支敦士登巴尔策斯 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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