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原文传递吸光光度计和使用该吸光光度计的半导体制造装置

专利名称：	吸光光度计和使用该吸光光度计的半导体制造装置
摘要：	得到一种吸光光度计，该吸光光度计在检测高温的样品气体的情况下，即使不延长从光源部至光接收部为止的距离，也能够保护光源部和/或光接收部免受样品气体的热的侵害，能够保持高检测精度。其具备：具有容纳样品气体的容纳空间(11)的样品容纳部(10)、将光照射到容纳空间(11)内的光源部(20)、接收从容纳空间(11)内射出的光的光接收部(30)、与样品容纳部(10)的光源部(20)侧邻接而设置的第一隔热部(40a)和与样品容纳部(10)的光接收部(30)侧邻接而设置的第二隔热部(40b)、以及与第一隔热部(40a)邻接而设置的第一冷却部(50a)和与第二隔热部(40b)邻接而设置的第二冷却部(50b)。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社堀场STEC
发明人：	西里洋;南雅和;坂口有平
专利状态：	有效
申请日期：	2017-09-14T00:00:00+0800
发布日期：	2019-04-26T00:00:00+0800
申请号：	CN201780056159.7
公开号：	CN109690292A
代理机构：	北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人：	杨敏;金玉兰
分类号：	G01N21/59(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本京都府京都市
主权项：	1.一种吸光光度计，具备：样品容纳部，具有以隔着容纳样品气体的容纳空间而对置的方式安装的一对透光窗；光源部，经由所述一侧的透光窗而将光照射到所述容纳空间内；以及光接收部，接收穿过所述容纳空间内而从所述另一侧的透光窗射出的光，其特征在于，所述吸光光度计还具备：隔热部，设置于所述样品容纳部与所述光源部之间，或者设置于所述样品容纳部与所述光接收部之间，或者设置于所述样品容纳部与所述光源部之间以及所述样品容纳部与所述光接收部之间；以及冷却部，与所述至少一个隔热部同样地设置于所述样品容纳部与所述光源部之间或者所述样品容纳部与所述光接收部之间，所述隔热部相对于所述冷却部配置于所述样品容纳部侧。 2.根据权利要求1所述的吸光光度计，其特征在于，使冷却材料在所述冷却部内强制流通。 3.根据权利要求1所述的吸光光度计，其特征在于，使选自所述样品容纳部、所述光源部、所述光接收部、设置于所述样品容纳部与所述光源部之间的所述隔热部、与该隔热部同样地设置于所述样品容纳部与所述光源部之间的所述冷却部、设置于所述样品容纳部与所述光接收部之间的所述隔热部、与该隔热部同样地设置于所述样品容纳部与所述光接收部之间的所述冷却部且彼此对置配置而成的至少一个组的该对置的面紧贴并邻接。 4.根据权利要求1所述的吸光光度计，其特征在于，所述冷却部包括块体，在所述块体的内部形成有供冷却材料流通的流通通路，从所述流通通路的导入口导入到流通通路内的冷却材料从所述流通通路的导出口导出到流通通路外。 5.根据权利要求4所述的吸光光度计，其特征在于，隔热部设置于所述样品容纳部与所述光源部之间和所述样品容纳部与所述光接收部之间，并且与所述各隔热部同样地，冷却部设置于所述样品容纳部的所述光源部之间或者所述样品容纳部的所述光接收部之间，从相对于所述样品容纳部设置在光接收部侧的冷却部的流通通路内经由导出口导出的冷却材料经由导入口导入到相对于所述样品容纳部设置在光源部侧的冷却部的流通通路内。 6.根据权利要求1所述的吸光光度计，其特征在于，所述至少一个透光窗通过固定框安装于所述样品容纳部，所述固定框由金属材料形成。 7.一种半导体制造装置，其特征在于，将加热材料而生成的材料气体与载气混合而进行输送，使混合所述材料气体和所述载气而成的混合气体作为样品气体穿过权利要求1所述的吸光光度计的样品容纳部来进行检测。 8.根据权利要求7所述的半导体制造装置，其特征在于，将所述材料气体与经预热的载气混合而进行输送。 9.根据权利要求7所述的半导体制造装置，其特征在于，所述样品气体是在所述材料气体和所述载气中进一步加入经预热的稀释气体而成的混合气体。
所属类别：	发明专利