专利名称: | 自动清洁吸嘴的装置与方法 |
摘要: | 本发明涉及一种自动清洁吸嘴的装置与方法,首先以吸嘴吸取晶 粒,再将其置放于承盘内,由于重复多次执行这些步骤后,吸嘴口会 因为接触晶粒表面频繁,而有尘污黏附,会造成晶粒损伤,故以此装 置将吸嘴碰触清洁胶带的表面,通过此可以自动清洁吸嘴,避免晶粒 受到污染。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 京元电子股份有限公司 |
发明人: | 林殿方;韩信辉 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2005-06-28T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200510081050.8 |
公开号: | CN1889240 |
代理机构: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人: | 陈肖梅;文 琦 |
分类号: | H01L21/50(2006.01)I |
申请人地址: | 中国台湾新竹市 |
所属类别: | 发明专利 |