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原文传递自动清洁吸嘴的装置与方法

专利名称：	自动清洁吸嘴的装置与方法
摘要：	本发明涉及一种自动清洁吸嘴的装置与方法，首先以吸嘴吸取晶粒，再将其置放于承盘内，由于重复多次执行这些步骤后，吸嘴口会因为接触晶粒表面频繁，而有尘污黏附，会造成晶粒损伤，故以此装置将吸嘴碰触清洁胶带的表面，通过此可以自动清洁吸嘴，避免晶粒受到污染。
专利类型：	发明专利
申请人：	京元电子股份有限公司
发明人：	林殿方;韩信辉
专利状态：	有效
申请日期：	2005-06-28T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200510081050.8
公开号：	CN1889240
代理机构：	中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：	陈肖梅;文琦
分类号：	H01L21/50(2006.01)I
申请人地址：	中国台湾新竹市
所属类别：	发明专利