原文传递
基板输出输入装置以及基板输出输入方法
| 专利名称： | 基板输出输入装置以及基板输出输入方法 |
| 摘要： | 本发明的基板输出输入装置(100)以及基板输出输入方法用于从 托盘取出基板，或者将基板输入到托盘中。首先，在输送器(103)的 规定位置上进行托板(101)的定位，在进行了该定位的状态下，借助 托盘夹具(107)将叠置在托板上的多层托盘(102)中较处理对象托 盘位于上层的非处理对象托盘把持住并使其升降。并且，在非处理对 象托盘上升而在处理对象托盘上确保了足够空间期间，升降销(105) 通过设置在托盘以及托盘上的升降销通过用孔(102a)，由此对升降销 的动作进行控制，使得升降销末端距处理对 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 平田机工株式会社 |
| 发明人： | 神近哲郎 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2004-03-01T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200480042176.8 |
| 公开号： | CN1922087 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 何腾云 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
检索历史
应用推荐
