专利名称: | 液体分配系统 |
摘要: | 本发明公开了一种液体分配系统,包括:底座;工作台,支撑 在底座上;头支架,设置在底座上,从而可以横跨工作台,并线性 地往复运动;头支架驱动单元,用于使头支架往复运动;头单元, 可移动地安装在头支架上;头驱动单元,用于驱动头单元;生产线 传送装置,邻近底座设置,用于沿其传送基板;以及装载/卸载单元, 用于将已传送到生产线传送装置的基板装载到工作台上,或将基板 传送到生产线传送装置上。即使基板具有大尺寸,也可以平稳地传 送基板。而且,即使工作台如同基板具有大尺寸一样也具有大尺寸, 也可以平稳地 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 塔工程有限公司 |
发明人: | 李载昱;安满镐 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-09-08T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200610128683.4 |
公开号: | CN1928673 |
代理机构: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人: | 余 刚;吴贵明 |
分类号: | G02F1/1341(2006.01)I |
申请人地址: | 韩国京畿道 |
所属类别: | 发明专利 |