专利名称: | 卡匣、机械手臂和工艺设备 |
摘要: | 一种卡匣,其适于容置至少一个基板。卡匣包括壳体和至少一 个传送单元。此传送单元适于设置于壳体内,且传送单元包括多个 滚轴和至少一个磁性导螺杆。其中,这些滚轴适用于承载基板,而 此磁性导螺杆与这些滚轴中的一个电连接。当磁性导螺杆转动时便 会带动相对应的滚轴转动使基板移动。此外,本发明亦披露一种机 械手臂和工艺设备。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 中华映管股份有限公司 |
发明人: | 刘大有 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2005-12-02T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200510127719.2 |
公开号: | CN1978287 |
代理机构: | 上海专利商标事务所有限公司 |
代理人: | 陈 亮 |
分类号: | B65D85/48(2006.01)I |
申请人地址: | 中国台湾台北市中山北路三段二十二号 |
所属类别: | 发明专利 |