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原文传递 卡匣、机械手臂和工艺设备
专利名称: 卡匣、机械手臂和工艺设备
摘要: 一种卡匣,其适于容置至少一个基板。卡匣包括壳体和至少一 个传送单元。此传送单元适于设置于壳体内,且传送单元包括多个 滚轴和至少一个磁性导螺杆。其中,这些滚轴适用于承载基板,而 此磁性导螺杆与这些滚轴中的一个电连接。当磁性导螺杆转动时便 会带动相对应的滚轴转动使基板移动。此外,本发明亦披露一种机 械手臂和工艺设备。
专利类型: 发明专利
申请人: 中华映管股份有限公司
发明人: 刘大有
专利状态: 有效
申请日期: 2005-12-02T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200510127719.2
公开号: CN1978287
代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
代理人: 陈 亮
分类号: B65D85/48(2006.01)I
申请人地址: 中国台湾台北市中山北路三段二十二号
所属类别: 发明专利
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