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基板输出输入装置以及基板输出输入方法
| 专利名称： | 基板输出输入装置以及基板输出输入方法 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于从托盘取出基板或者将基板输入托盘的基板 输出输入装置。该基板输出输入装置将层叠的托盘分离，并使基板支 承销进入到分离的空间内。在基板支承销位于输出输入对象托盘下方 的状态下，使基板支承销插通输出输入对象托盘的销插通孔。在取出 基板时，借助基板支承销从托盘托起基板，从而能够取出基板。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | 平田机工株式会社 |
| 发明人： | 神近哲郎;上田智博 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2006-04-25T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200680000838.4 |
| 公开号： | CN101018723 |
| 代理机构： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
| 代理人： | 何腾云 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 日本东京 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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