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一种基于气体吸收光谱的谱线参数的测量系统
| 专利名称： | 一种基于气体吸收光谱的谱线参数的测量系统 |
| 摘要： | 一种基于气体吸收光谱的谱线参数的测量系统，属于吸收光谱测量技术领域。所述系统含有可调谐激光器、测量气室、参考光路、真空泵和示波器等部件。测量气室含有外壳、进气管道、出气管道、热电偶、中心测量区域和对称设置在中心测量区域两侧的“T”型玻璃柱；在所述进气管道出口和出气管道进口处均设有一环形缓冲气室；在每个玻璃柱外部设有套管；在套管与外壳内壁面之间填充保温棉，并在套管内壁和中心测量区域内壁面上镀有一层硅质薄膜。本发明可有效提高测量过程中系统温度的均匀稳定性，减小气室壁面极性分子的吸附和解析，同时消除空气中组分对待测气体的干扰，从而进一步提高谱线参数的测量精度。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 国家地区组织代码： | 北京;11 |
| 申请人： | 清华大学 |
| 发明人： | 彭志敏;丁艳军;李济东 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2019-02-01T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-04-30T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201910105501.9 |
| 公开号： | CN109696417A |
| 代理机构： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 |
| 代理人： | 邸更岩 |
| 分类号： | G01N21/39(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室 |
| 主权项： | 1.一种基于气体吸收光谱的谱线参数的测量系统，所述测量系统含有可调谐激光器、分束光纤、测量光路、参考光路、真空泵和示波器；所述的测量光路含有第一准直器、测量气室和第一探测器；所述参考光路含有第二准直器和第二探测器；其特征在于：所述气室含有外壳(10)、进气管道(4)和出气管道(5)，以及设置在外壳内的热电偶(6)、中心测量区域(1)和对称设置在中心测量区域两侧的“T”型玻璃柱(2)；在每个“T”型玻璃柱外部设有套管(11)，该套管与“T”型玻璃柱之间留有气体通道(15)；在套管与外壳内壁面之间填充保温棉(3)，并在套管内壁和中心测量区域内壁面上镀有一层硅质薄膜(13)。 2.如权利要求1所述的一种基于气体吸收光谱的谱线参数的测量系统，其特征在于，在所述进气管道(4)出口和出气管道(5)进口处均设有一环形缓冲气室(12)，该缓冲气室通过均匀布置在套管(11)上的进气小孔(14)与气体流道(15)相连通；气体从进气管道进入环形缓冲气室，然后围绕玻璃柱外围，从套管上多个均匀分布的进气小孔沿玻璃柱轴向的气流通道均匀流入至中心测量区域，之后进入出气管道处的环形缓冲气室后经出气管道流出。 3.如权利要求1或2所述的一种基于气体吸收光谱的谱线参数的测量系统，其特征在于：在所述参考光路中，第二准直器出口端到第二探测器入口的光程距离等于测量光路中第一准直器到测量气室入口的距离L1与测量气室出口到第一探测器入口的距离L2之和。 4.如权利要求1、2或3所述的一种基于气体吸收光谱的谱线参数的测量系统，其特征在于：所述的外壳(10)和套管(11)采用不锈钢材质。 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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