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原文传递 方向转换装置
专利名称: 方向转换装置
摘要: 本发明提供一种可以缩短搬运时间的方向转换装置。该方向转换 装置,包括:用于搬运FOUP(5)的直线形的第一及第二搬运路径(3、 4),具有相同长度,其中任意一方与第一搬运导轨(16)高度相同, 另一方配置在所述一方的下方,并且相互垂直,两条搬运路径的中心 位于同一垂直线上;旋转工作台(2)及旋转部(22),使第一及第 二搬运路径(3、4)同时以中点为中心进行旋转;升降部(23),使 第一及第二搬运路径(3、4)沿着垂直方向移动;和控制部(21), 其如下进行控制:当将FOUP(5)从第一搬运
专利类型: 发明专利
申请人: 亚仕帝科技股份有限公司
发明人: 久德千三;椿达雄;村田正直
专利状态: 有效
申请日期: 2007-02-14T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200710080152.7
公开号: CN101020537
代理机构: 北京泛诚知识产权代理有限公司
代理人: 杨本良;文 琦
分类号: B65G47/52(2006.01)I
申请人地址: 日本三重县伊势市
所属类别: 发明专利
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