专利名称: | 方向转换装置 |
摘要: | 本发明提供一种可以缩短搬运时间的方向转换装置。该方向转换 装置,包括:用于搬运FOUP(5)的直线形的第一及第二搬运路径(3、 4),具有相同长度,其中任意一方与第一搬运导轨(16)高度相同, 另一方配置在所述一方的下方,并且相互垂直,两条搬运路径的中心 位于同一垂直线上;旋转工作台(2)及旋转部(22),使第一及第 二搬运路径(3、4)同时以中点为中心进行旋转;升降部(23),使 第一及第二搬运路径(3、4)沿着垂直方向移动;和控制部(21), 其如下进行控制:当将FOUP(5)从第一搬运 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 亚仕帝科技股份有限公司 |
发明人: | 久德千三;椿达雄;村田正直 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2007-02-14T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200710080152.7 |
公开号: | CN101020537 |
代理机构: | 北京泛诚知识产权代理有限公司 |
代理人: | 杨本良;文 琦 |
分类号: | B65G47/52(2006.01)I |
申请人地址: | 日本三重县伊势市 |
所属类别: | 发明专利 |