专利名称: | 面板处理用排气推车 |
摘要: | 一种面板处理用排气推车,包括:将面板(P)多层状层叠在推车本体(10) 上后进行保持的面板保持构架(20)、以及设有对进行各面板内的密封排气处 理的端管(33)进行保持的排气头(34)的排气处理构件,在面板保持构架的 附近配设的隔热箱(35)内设有冷却水集合导入管(37)和冷却水集合排出管 (38),在各排气头上分别连接有从冷却水集合导入管和冷却水集合排出管引 出的引导管(37a、38a),另一方面,在隔热箱外设有用于进行各面板内的排 气的各排气管(36d)和对用于使端管保持在排气头上的压缩空 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 中外炉工业株式会社 |
发明人: | 新谷昌德;山村正道 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2006-07-31T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200610110909.8 |
公开号: | CN101022069 |
代理机构: | 上海专利商标事务所有限公司 |
代理人: | 方晓虹 |
分类号: | H01J9/385(2006.01)I |
申请人地址: | 日本大阪府 |
所属类别: | 发明专利 |