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气体支撑的基底承载机构
| 专利名称： | 气体支撑的基底承载机构 |
| 摘要： | 一种在真空或者接近真空条件下使用的悬浮设备，包括具有多个 气体注入点(1)和邻近的气体抽吸点(2)的悬浮板(3)，以产生空气支 撑，因而支撑薄板状基底。另一个实施例包括被支撑基底的运输装 置和/或使悬浮板倾斜的倾斜装置。 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 申请人： | OC欧瑞康巴尔斯公司 |
| 发明人： | V·卡萨格尼 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2005-07-07T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN200580023248.9 |
| 公开号： | CN101023011 |
| 代理机构： | 中国专利代理(香港)有限公司 |
| 代理人： | 原绍辉;黄力行 |
| 分类号： | B65G49/06(2006.01)I |
| 申请人地址： | 列支敦士登巴尔策斯 |
| 所属类别： | 发明专利 |
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