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原文传递传送机构

专利名称：	传送机构
摘要：	传送臂具有两个突出的支撑部件。支撑部件的前端形成为其厚度朝其前端减小。其上放置晶片的传送臂的表面具有在扇形区域中多个以等间距形成的抽吸孔。晶片通过抽吸孔固定到传送臂。晶片带有大量静电。传送臂带有静电。传送臂的表面涂覆有导电的氟化石墨材料。因此，增加了传送臂向大气中的放电率。因此，能够适当地抑制在浮置状态传送臂的表面电势的提升。作用在传送臂和晶片之间的静电引起的排斥力的降低导致晶片振动的减轻。
专利类型：	发明专利
申请人：	精工电子有限公司
发明人：	麻生诚
专利状态：	有效
申请日期：	2007-02-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710087976.7
公开号：	CN101026118
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	温大鹏;廖凌玲
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本千叶县千叶市
所属类别：	发明专利