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原文传递容器输送装置

专利名称：	容器输送装置
摘要：	本发明容器输送装置，为了在湾区内的多个处理装置(1-n)间输送这样的容器(3)而使用：该容器以密闭状态收容有半导体晶片或液晶显示板等、要求将表面保持在不受污染的状态下进行输送的物品，具备：输送机(5)，沿着多个处理装置(1-n)的排列方向配设在湾区内的顶棚空间中，用来使上述容器(3)在载置于平板架(6) 上的状态下移动；升降装置(7)，设在配置于升降机(5)的下方的多个处理装置(1-n)的各装卸端口(4)，用来在装卸端口(4)与输送机(5)之间使容器(3)升降；以及，板架插脱机构
专利类型：	发明专利
申请人：	平田机工株式会社
发明人：	橘胜义
专利状态：	有效
申请日期：	2004-09-24T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200480044059.5
公开号：	CN101027767
代理机构：	永新专利商标代理有限公司
代理人：	黄剑锋
分类号：	H01L21/68(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利