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原文传递装料口

专利名称：	装料口
摘要：	本发明的目的在于提供一种在试样的搬运中不用担心产生腐蚀或附着尘埃的供料口。本发明的供料口，具有：设置在大气侧搬运装置(5)的前面一侧、放置容纳了在前面一侧的被处理对象的试样的容器(15)的工作台(24) 和将大气侧搬运装置(5)的搬运室(12)的内部与外部隔断的金刚石粉板(16)，利用设置于金刚石粉板(16)上的开口部可以将试样从容器15中取出或者将试样容纳于容器15中，设有沿金刚石粉板(16)背面一侧配置在上述开口部的下方的排气管道(20)，利用风扇(21)将搬运装室(12)内的环
专利类型：	发明专利
申请人：	平田机工株式会社
发明人：	谷村英宣;空冈稔;横山进二;丰田哲庆
专利状态：	有效
申请日期：	2006-03-08T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200610057333.3
公开号：	CN101034677
代理机构：	北京银龙知识产权代理有限公司
代理人：	张敬强
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本东京都
所属类别：	发明专利