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原文传递容量减小的运载器和使用方法

专利名称：	容量减小的运载器和使用方法
摘要：	提供了基片传送设备(10)。该设备具有壳体(11)和门(13)。壳体适合在其中形成受控的环境。壳体在其中具有用于在壳体内保持至少一个基片的支撑件(12，14)。壳体限定了基片传递开口，基片传送系统通过基片传递开口存取壳体内的基片。用于关闭壳体内的基片传递开口的门连接到壳体。壳体具有形成允许在不缩回基片传送系统并且与壳体内的基片装载无关的情况下用另一个基片从设备替换基片的快速交换元件。
专利类型：	发明专利
申请人：	布鲁克斯自动化公司
发明人：	G·乌利塞斯;M·L·布法诺;W·福斯奈特;C·霍夫梅斯特;G·M·弗里德曼
专利状态：	有效
申请日期：	2005-08-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200580035790.6
公开号：	CN101044074
代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司
代理人：	原绍辉;谭祐祥
分类号：	B65G49/07(2006.01)I
申请人地址：	美国马萨诸塞州
所属类别：	发明专利