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原文传递用于处理扁平、易碎基体的装置

专利名称：	用于处理扁平、易碎基体的装置
摘要：	本发明涉及一种用于处理扁平、易碎基体(2)的装置(1)，其中，所述基体(2)在一处理腔中由处理液(14)加载作用。为此所述基体由输送装置(3)沿多个相互平行的轨迹引导水平穿行通过所述处理腔。至少一个对置保持装置(7、22)作用在基体(2)朝上的一侧上，并防止基体从输送装置(3)上抬起。为此将多个对置保持元件(7)这样固定在一共同的、跨越在不同轨迹上的轴(22)上，即，所述对置保持元件沿垂直方向可以相互独立地运动，并且能够在基体(2)上施加与基体的厚度基本上无关的压力。
专利类型：	发明专利
申请人：	霍尔穆勒机械制造有限公司
发明人：	T·科西科夫斯基
专利状态：	有效
申请日期：	2007-07-19T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200710136147.3
公开号：	CN101110350
代理机构：	北京市中咨律师事务所
代理人：	吴鹏;马江立
分类号：	H01L21/00(2006.01)I
申请人地址：	德国黑伦贝格
所属类别：	发明专利