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原文传递装载口及装载口的控制方法

专利名称：	装载口及装载口的控制方法
摘要：	本发明提供一种不受基板收纳容器的放置方向的限制，能够根据装载口连接的装置的形状灵活地对应，同时小型的装载口。另外，提供一种动作效率高的装载口。具体为，装载口具备用于放置基板收纳容器的载置台(12)和使前述载置台移动的移动机构，并开闭前述被放置的基板收纳容器的盖，还具备使前述载置台(12)旋转的旋转机构、及使前述载置台升降的升降机构。
专利类型：	发明专利
申请人：	株式会社安川电机
发明人：	大崎真;萩尾光昭;今中崇之
专利状态：	有效
申请日期：	2006-02-22T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200680003975.3
公开号：	CN101116181
代理机构：	北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人：	武玉琴;王继文
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本福冈县
所属类别：	发明专利