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原文传递 用于处理扁平、易碎基体的装置
专利名称: 用于处理扁平、易碎基体的装置
摘要: 本发明涉及一种用于处理扁平、易碎基体(2)的装置(1),其中, 所述基体(2)在一处理腔中由处理液(14)加载作用。为此所述基体由输 送装置(3)引导水平穿行通过所述处理腔。具有圆柱形的可转动地支承的 侧向引导滚轮(20)的侧向引导装置确保有利地沿输送方向(4)定向地对 基体(2)进行输送。
专利类型: 发明专利
申请人: 霍尔穆勒机械制造有限公司
发明人: I·格拉萨
专利状态: 有效
申请日期: 2007-10-17T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200710181928.4
公开号: CN101165870
代理机构: 北京市中咨律师事务所
代理人: 吴 鹏;马江立
分类号: H01L21/67(2006.01)I
申请人地址: 德国黑伦贝格
所属类别: 发明专利
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