专利名称: | 用于处理扁平、易碎基体的装置 |
摘要: | 本发明涉及一种用于处理扁平、易碎基体(2)的装置(1),其中, 所述基体(2)在一处理腔中由处理液(14)加载作用。为此所述基体由输 送装置(3)引导水平穿行通过所述处理腔。具有圆柱形的可转动地支承的 侧向引导滚轮(20)的侧向引导装置确保有利地沿输送方向(4)定向地对 基体(2)进行输送。 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 霍尔穆勒机械制造有限公司 |
发明人: | I·格拉萨 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2007-10-17T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200710181928.4 |
公开号: | CN101165870 |
代理机构: | 北京市中咨律师事务所 |
代理人: | 吴 鹏;马江立 |
分类号: | H01L21/67(2006.01)I |
申请人地址: | 德国黑伦贝格 |
所属类别: | 发明专利 |