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原文传递基板玻璃热收缩的检测装置、测量系统及测量方法

专利名称：	基板玻璃热收缩的检测装置、测量系统及测量方法
摘要：	本公开涉及一种基板玻璃热收缩的检测装置、测量系统及测量方法，所述基板玻璃热收缩的检测装置包括用于调整基板玻璃位置的微调机构，用于观测所述基板玻璃热收缩变化的显微镜和与所述显微镜连接的计算机，所述微调机构包括设置在所述显微镜的载物台上的滑轨，以及沿所述滑轨上移动的承载平台。本公开提供的基板玻璃热收缩的检测装置能够检测基板玻璃的热收缩性，能够扩大测量样品尺寸，并且装置简单易操作。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	河北;13
申请人：	东旭集团有限公司
发明人：	李志勇;郑权;王丽红;闫冬成;李俊锋;张广涛
专利状态：	有效
申请日期：	2018-12-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201811638901.8
公开号：	CN109725019A
代理机构：	北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	辛自强;陈庆超
分类号：	G01N25/16(2006.01);G;G01;G01N;G01N25
申请人地址：	050000 河北省石家庄市高新区珠江大道369号
主权项：	1.一种基板玻璃热收缩的检测装置，其特征在于，所述基板玻璃热收缩的检测装置包括用于调整基板玻璃位置的微调机构(1)，用于观测所述基板玻璃热收缩变化的显微镜和与所述显微镜连接的计算机，所述微调机构(1)包括设置在所述显微镜的载物台上的滑轨(11)，以及沿所述滑轨(11)上移动的承载平台(12)。 2.根据权利要求1所述的基板玻璃热收缩的检测装置，其特征在于，所述滑轨(11)通过固定底板(13)设置在所述载物台上，所述固定底板(13)的尺寸大于所述载物台的尺寸。 3.根据权利要求2所述的基板玻璃热收缩的检测装置，其特征在于，所述固定底板(13)与所述载物台通过限位组件(14)固定连接，所述限位组件(14)包括限位夹片(141)和螺丝(142)，所述限位夹片(141)设置在所述固定底板(13)的上表面，所述螺丝(142)依次穿过所述限位夹片(141)和所述固定底板(13)并固定在所述载物台上。 4.根据权利要求2所述的基板玻璃热收缩的检测装置，其特征在于，所述滑轨(11)为固定安装在所述固定底板(13)的上表面的多条，多条所述滑轨(11)相互平行。 5.根据权利要求4所述的基板玻璃热收缩的检测装置，其特征在于，所述滑轨(11)的两端设置有防止所述承载平台(12)从所述滑轨(11)上滑落的限位部(15)。 6.一种基板玻璃热收缩的测量系统，其特征在于，包括：划线装置，该划线装置用于对基板玻璃进行标记线制作；热处理装置，用于对基板玻璃进行热处理；以及检测装置，该检测装置为根据权利要求1-5中任意一项所述的基板玻璃热收缩的检测装置。 7.一种基板玻璃热收缩的测量方法，其特征在于，所述测量方法包括：设置根据权利要求6所述的测量系统；采用所述划线装置对基板玻璃进行标记线的制作；待标记之后，将所述基板玻璃在初始位置进行切割，以形成第一基板玻璃(a)和第二基板玻璃(b)，所述第一基板玻璃(a)放入所述热处理装置中进行热处理，所述第二基板玻璃(b)不做处理；所述第一基板玻璃(a)与所述第二基板玻璃(b)按照所述初始位置对齐放置在所述承载平台(12)上；调整所述显微镜的载物台并通过所述滑轨(11)调整所述承载平台(12)，以使得所述标记线与所述计算机的成像模块的边界平行，以获得第一基板玻璃(a)和第二基板玻璃(b)的标记线之间的偏差值；通过所述计算机的计算模块根据所述偏差值计算所述基板玻璃热的收缩量。 8.根据权利要求7所述的基板玻璃热收缩的测量方法，其特征在于，所述获得第一基板玻璃(a)和第二基板玻璃(b)的标记线之间的偏差值包括：获取所述第一基板基板玻璃(a)和所述第二基板玻璃(b)的标记线之间的偏差距离ΔL1和ΔL2；利用热收缩率的测量公式S＝丨ΔL1-ΔL2丨÷L0计算基板玻璃的热收缩率。 9.根据权利要求7所述的基板玻璃热收缩的测量方法，其特征在于，将所述基板玻璃沿所述标记线的垂直方向进行切割。 10.根据权利要求6所述的基板玻璃热收缩的测量方法，其特征在于，所述第一基板玻璃(a)和所述第二基板玻璃(b)通过水膜粘合在洁净玻璃的上表面上。 11.根据权利要求8所述的基板玻璃热收缩的测量方法，其特征在于，采用中间线法获取偏差距离ΔL1和ΔL2，并且所述中间线法包括：挑选粗细均匀的两条标记线；通过所述成像模块获取所述标记线在宽度方向上像素的个数，选择中间点，并进行中心线的绘制；测量所述中心线间的垂线段，得出所述ΔL1和ΔL2。
所属类别：	发明专利