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原文传递图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法

专利名称：	图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法
摘要：	公开了图像生成方法、图像生成装置以及使用其的缺陷确定方法。提供了一种图像生成方法，其生成目标物体的表面的图像，包括：使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第一图像捕获，所述周期性结构体包括以预定周期P交替的透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域，使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第二图像捕获，和使用第一捕获图像和第二捕获图像来生成表面图像，其中第一和第二位置在周期性结构体的周期性方向上彼此不同。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	佳能株式会社
发明人：	桥口英则;植村卓典
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-07T00:00:00+0800
申请号：	CN201811281219.8
公开号：	CN109724982A
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	宋岩
分类号：	G01N21/88(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	日本东京
主权项：	1.一种用于生成目标物体的表面的表面图像的图像生成方法，其特征在于，所述图像生成方法包括：作为第一图像捕获，使放置在第一位置处的图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面，所述周期性结构体包括透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域，所述透射区域和非透射区域在周期性方向上以预定周期P交替布置；作为第二图像捕获，使放置在不同于第一位置的第二位置处的图像捕获单元通过所述周期性结构体捕获目标物体的表面；和使用在第一图像捕获中获得的第一捕获图像和在第二捕获中获得的第二捕获图像来生成表面图像，其中第一位置和第二位置在所述周期性结构体的周期性方向上彼此不同。 2.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，在第一图像捕获中捕获第一图像的图像捕获单元和在第二图像捕获中捕获第二图像的图像捕获单元是相同的图像捕获单元。 3.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，在第一图像捕获之后且在第二图像捕获之前，图像捕获单元从第一位置移动到第二位置。 4.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，第一位置和第二位置之间在周期性结构体的周期性方向上的距离小于周期P。 5.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，位于第一位置处的图像捕获单元的光轴与目标物体的交点和位于第二位置处的图像捕获单元的光轴与目标物体的交点之间在周期性结构体的周期性方向上的距离是 (n+1/4)L×P/2D以上且(n+3/4)L×P/2D以下，其中从目标物体的表面到图像捕获单元的光瞳平面的距离是L，从目标物体的表面到周期性结构体的光程长度是D，并且n是任何整数。 6.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，在第一图像捕获中，图像捕获单元在多个状态中多次捕获目标物体，其中，周期性结构体的位置在所述多个状态中的每个状态中不同，并且其中，在第二图像捕获中，图像捕获单元在多个状态中多次捕获目标物体，其中，周期性结构体的位置在所述多个状态中的每个状态中不同。 7.根据权利要求6所述的图像生成方法，其中，在所述周期性方向上，在所述多个状态中的所述周期性结构体的所述多个位置的最小差小于所述周期P。 8.根据权利要求6所述的图像生成方法，其中，在所述多个状态中，被配置为发射用于照明目标物体的光的发光单元与所述周期性结构体共同移动。 9.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，生成表面图像包括：使目标物体中的检查区域中的第一捕获图像和第二捕获图像对准，以及组合第一捕获图像和第二捕获图像。 10.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，所述目标物体的表面是平坦的。 11.根据权利要求1所述的图像生成方法，其中，捕获第二捕获图像的图像捕获单元相对于捕获第一捕获图像的图像捕获单元倾斜。 12.一种用于生成目标物体的表面的表面图像的图像生成方法，其特征在于，所述图像生成方法包括：在图像捕获单元和目标物体的表面以第一角度倾斜的情况下，使图像捕获单元通过周期性结构体捕获目标物体的表面作为第一图像，在所述周期性结构体中，以预定周期P交替设置透射区域和透射率比透射区域低的非透射区域；在图像捕获单元和目标物体的表面以不同于第一角度的第二角度倾斜的状态下，使图像捕获单元通过所述周期性结构体捕获目标物体的表面作为第二图像；和使用第一图像和第二图像生成表面图像。 13.根据权利要求12所述的图像生成方法，其中，所述第一角度和所述第二角度中的每一个是围绕与所述周期性结构体中包括的非透射区域的纵向方向平行的轴的旋转方向上的角度。 14.根据权利要求12所述的图像生成方法，其中，所述第一角度和所述第二角度之间的目标物体的倾斜度差Δθ满足 (n+1/4)×P/2D
所属类别：	发明专利