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原文传递物品供给装置

专利名称：	物品供给装置
摘要：	本发明为一种将物品从收容多个物品的容器中取出而向处理装置供给的装置。桥式吊车(22)在与容器暂存区(16)之间传递容器 (18)，并通过带有移载装置(28)的台车(26)，在容器暂存区(16) 与装载口(14、15)之间交接容器(18)。从装载口(14、15)，通过分类器(4、6)将晶圆从容器(18)取出放入，并由暂存区(8、9) 保管等待处理或处理结束的晶圆。使处理装置不空闲，且适当变更晶圆的处理顺序或向容器的组合。
专利类型：	发明专利
申请人：	村田机械株式会社
发明人：	山本真
专利状态：	有效
申请日期：	2008-01-10T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200810003120.1
公开号：	CN101221919
代理机构：	永新专利商标代理有限公司
代理人：	胡建新
分类号：	H01L21/677(2006.01)I
申请人地址：	日本京都府
所属类别：	发明专利