专利名称: |
一种硅片清洗机用废液收集装置 |
摘要: |
本实用新型公开了一种硅片清洗机用废液收集装置,包括硅片清洗机和收集罐,所述硅片清洗机一侧设有出水口,出水口通过连接水管连接有水泵,所述收集罐上设有密封盖,密封盖与水泵之间连接有连接水管,所述收集罐上设有固定块,固定块内设有凹槽,所述固定块内侧壁通过弹簧连接有弧形的定位挡板,定位挡板对称分布在固定块的内部,所述定位挡板之间连接有收集罐,收集罐的高度等于1/2固定块的高度。该硅片清洗机用废液收集装置设有收集罐,将收集罐放置在硅片清洗机出水口处,可通过水泵将硅片清洗机清洗硅片产生的废水抽吸到收集罐内,从而可完成废水的收集,且收集罐设在移动推车上,可方便收集罐的移动。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
河北;13 |
申请人: |
河北万维克林精密设备有限公司 |
发明人: |
周尤;韦树喜;韦海玉 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2018-10-08T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-05-10T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201821627206.7 |
公开号: |
CN208843031U |
代理机构: |
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) |
代理人: |
杨玉廷 |
分类号: |
B65F1/10(2006.01);B;B65;B65F;B65F1 |
申请人地址: |
065400 河北省廊坊市香河县香河经济开发区运河大道东侧安晟街北侧运泰路西侧香河机器人产业港1期E2楼3层 |
主权项: |
1.一种硅片清洗机用废液收集装置,其特征在于:包括硅片清洗机(1)和收集罐(3),所述硅片清洗机(1)一侧设有出水口(10),出水口(10)通过连接水管(2)连接有水泵(9),所述收集罐(3)上设有密封盖(4),密封盖(4)与水泵(9)之间连接有连接水管(2),所述收集罐(3)上设有固定块(5),固定块(5)内设有凹槽,所述固定块(5)内侧壁通过弹簧(13)连接有弧形的定位挡板(11),定位挡板(11)对称分布在固定块(5)的内部,所述定位挡板(11)之间连接有收集罐(3),收集罐(3)的高度等于1/2固定块(5)的高度。 2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用废液收集装置,其特征在于:所述固定块(5)下端固定连接有支撑板(12),支撑板(12)下端两侧设有第二液压杆(8),且第二液压杆(8)位于支撑板(12)水平方向的轴线上。 3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用废液收集装置,其特征在于:所述定位挡板(11)内侧设有橡胶垫(14),且定位挡板(11)上端为切口结构。 4.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机用废液收集装置,其特征在于:所述支撑板(12)下端开设有半圆形凹槽(16),凹槽(16)内连接有连接轴(15),且连接轴(15)下端固定连接有第一液压杆(6),并且凹槽(16)的直径等于连接轴(15)的外部直径。 5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗机用废液收集装置,其特征在于:所述第一液压杆(6)与第二液压杆(8)下端固定连接有移动推车(7)。 6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用废液收集装置,其特征在于:所述弹簧(13)内固定连接有橡胶柱(17),且橡胶柱(17)的高度与弹簧(13)的高度相等。 |
所属类别: |
实用新型 |