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原文传递粘接卡盘装置

专利名称：	粘接卡盘装置
摘要：	通过配置粘接部件(2)使得每单位面积的粘接力向伴随剥离装置 (3)的作动的工件(A)相对粘接部件(2)的剥离进行方向增加，从而伴随剥离装置(3)的作动以较小的剥离力从粘接部件(2)开始剥离工件(A)，其剥离顺利进行，并向与该剥离进行方向不同的方向进行剥离时，需要比由该剥离装置(3)的作动的剥离力远远大的力。因此，可以向由剥离装置的剥离进行方向容易剥离工件。
专利类型：	发明专利
申请人：	信越工程株式会社
发明人：	大谷义和;横田道也
专利状态：	有效
申请日期：	2007-01-31T00:00:00+0800
发布日期：	2019-01-01T00:00:00+0800
申请号：	CN200780000138.X
公开号：	CN101379606
代理机构：	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：	何腾云
分类号：	H01L21/683(2006.01)I
申请人地址：	日本东京
所属类别：	发明专利