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原文传递 保管库、搬运系统以及保管库组
专利名称: 保管库、搬运系统以及保管库组
摘要: 一种保管库,例如在暂时保管FOUP等货品的堆料机等保管库中, 收容了用于制造半导体元件的各种基板的FOUP,可通过简单的结构有 效地对货品进行出入库,或有效地进行保管库内搬运。保管库(10) 包括:支撑部(11),能够支撑货品(3);水平驱动部(13),能够 使支撑部沿水平一侧方向往复移动;铅直驱动部(14),能够使支撑 部沿铅直方向往复移动;以及多个货架(15),其具有载置面,在能 通过铅直驱动部使支撑部到达的铅直方向上的多个阶段,在能通过水 平驱动部到达的水平位置上各设置一个或两个以上的
专利类型: 发明专利
申请人: 日本阿西斯特技术株式会社
发明人: 村田正直;山路孝
专利状态: 有效
申请日期: 2008-09-08T00:00:00+0800
发布日期: 2019-01-01T00:00:00+0800
申请号: CN200810213476.8
公开号: CN101386368
代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人: 张建涛;陆锦华
分类号: B65G1/02(2006.01)I
申请人地址: 日本三重县
所属类别: 发明专利
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