专利名称: | 保管库、搬运系统以及保管库组 |
摘要: | 一种保管库,例如在暂时保管FOUP等货品的堆料机等保管库中, 收容了用于制造半导体元件的各种基板的FOUP,可通过简单的结构有 效地对货品进行出入库,或有效地进行保管库内搬运。保管库(10) 包括:支撑部(11),能够支撑货品(3);水平驱动部(13),能够 使支撑部沿水平一侧方向往复移动;铅直驱动部(14),能够使支撑 部沿铅直方向往复移动;以及多个货架(15),其具有载置面,在能 通过铅直驱动部使支撑部到达的铅直方向上的多个阶段,在能通过水 平驱动部到达的水平位置上各设置一个或两个以上的 |
专利类型: | 发明专利 |
申请人: | 日本阿西斯特技术株式会社 |
发明人: | 村田正直;山路孝 |
专利状态: | 有效 |
申请日期: | 2008-09-08T00:00:00+0800 |
发布日期: | 2019-01-01T00:00:00+0800 |
申请号: | CN200810213476.8 |
公开号: | CN101386368 |
代理机构: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人: | 张建涛;陆锦华 |
分类号: | B65G1/02(2006.01)I |
申请人地址: | 日本三重县 |
所属类别: | 发明专利 |