主权项: |
1.一种用于气体光声光谱检测的差分式共振光声池,其特征在于,包括: 待测气室(1),用于通入所需检测的待测气体,所述待测气室(1)包括: 进气口(11),将待测气体通入待测气室(1)的入口, 出气口(12),将待测气体排出待测气室(1)的出口; 参比气室(2),其与所述待测气室(1)沿所述差分式共振光声池中心轴线对称,参比气室(2)中预充参比气体,所述参比气室(2)包括充气嘴(21),用于将参比气室(2)抽真空以及对参比气室(2)预充特定种类参比气体时的气路通道; 共振光声池(3),包括沿所述差分式共振光声池中心轴线对称的两组光声池,所述光声池内预充与待测气体同种类的标准气体,在所述光声池中心处设有开口,分别将两组光声池中产生的光声信号差分送入声电转换器模块(7)中,且两组光声池由毛细管(31)相连通;所述共振光声池(3)包括充气嘴(32),用于将共振光声池(3)抽真空以及对共振光声池(3)预充特定浓度标准气体时的气路通道,由出厂前进行充气,充气完成后封死,出厂后无需再次充气; 进光窗口(4,4′),设置在所述待测气室(1)与所述参比气室(2)进光侧,以使激发光从所述进光窗口射入所述待测气室(1)与所述参比气室(2)中; 隔离窗口(5,5′),设置在所述待测气室(1)及所述参比气室(2)与所述共振光声池(3)中间,用于隔离所述待测气室(1)、参比气室(2)与共振光声池(3),射入所述待测气室(1)中的光源由特征气体吸收一部分激发光光能后由所述隔离窗口(5)射入所述共振光声池(3),射入所述参比气室(2)中的光源不吸收激发光光能由所述隔离窗口(5′)射入所述共振光声池(3); 出光窗口(6,6′),设置在所述共振光声池(3)出光侧,以使激发光从所述出光窗口(6,6′)射出所述共振光声池(3); 声电转换模块(7),用于检测所述待测气体在所述两组光声池中产生的差分光声信号,以获得与待测气体浓度成线性比例的声信号; 前置放大电路及滤波电路(8),用于放大声电转换模块(7)产生的差分光声信号,并初步滤除与光声信号不同频率的干扰信号。 2.根据权利要求1所述的差分式共振光声池,其特征在于,所述待测气室(1)的形状为圆柱形或方形。 3.根据权利要求1所述的差分式共振光声池,其特征在于,所述待测气室(1)的长度在0.1mm-200mm。 4.根据权利要求1所述的差分式共振光声池,其特征在于,所述待测气室(1)应用于痕量气体测量场景中时,采用多次反射结构增加其光程长度。 5.根据权利要求1所述的差分式共振光声池,其特征在于,所述待测气室(1)内表面镀有金。 6.根据权利要求1所述的差分式共振光声池,其特征在于,所述参比气室(2)应用于无背景气体干扰的测量场景中时,所充参比气体为N2、He、Ar或空气;应用于有背景气体干扰的测量场景中时,所充参比气体为背景气体。 7.根据权利要求1所述的差分式共振光声池,其特征在于,所述两组光声池由两根金属管制成,所述金属管的直径在5mm-10mm,长度在50mm-200mm,长径比大于或等于12:1。 8.根据权利要求1所述的差分式共振光声池,其特征在于,所述共振光声池(3)与声电转换模块(7)的连接处位于所述共振光声池(3)的中间处,即光声信号驻波的波峰处;连接处为喇叭口形状,与所述共振光声池(3)相连部分直径为1mm-2mm,与声电转换器模块(7)相连部分直径为5mm-10mm。 9.根据权利要求1所述的差分式共振光声池,其特征在于,与所述两组光声池连接的毛细管(31)位于所述共振光声池(3)的1/4位置处,即光声信号驻波的波谷处,毛细管直径为0.1mm。 10.根据权利要求1所述的差分式共振光声池,其特征在于,声电转换模块(7)为采用石墨烯覆膜的电容式传声器。 |