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原文传递检查器、液体提供装置和保护膜包覆装置

专利名称：	检查器、液体提供装置和保护膜包覆装置
摘要：	提供检查器、液体提供装置和保护膜包覆装置，对流动于管路的液体中有无气泡进行检查。该检查器配设在作为液体的流路的管路上，其具有：两个超声波振子，它们配设在该管路的上游侧和下游侧；和控制部，其与该两个超声波振子电连接，该控制部具有振幅计算部、判定部和振幅范围登记部，振幅计算部根据对由该两个超声波振子的一方产生并在流动于该管路的液体中传播的第一超声波利用该两个超声波振子的另一方进行观测而得的波形信息计算出该第一超声波的振幅，在该振幅范围登记部中登记有在混入有气泡的该液体中传播的超声波的振幅的范围，该判定部在该第一超声波的振幅在该振幅的范围内的情况下，判定为在该液体中混入了气泡。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社迪思科
发明人：	远藤智章;田篠文照;井谷博之;长森广树;大浦幸伸;梁仙一
专利状态：	有效
申请日期：	2018-11-07T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-17T00:00:00+0800
申请号：	CN201811316479.4
公开号：	CN109765293A
代理机构：	北京三友知识产权代理有限公司
代理人：	乔婉;于靖帅
分类号：	G01N29/024(2006.01);G;G01;G01N;G01N29
申请人地址：	日本东京都
主权项：	1.一种检查器，其配设在作为液体的流路的管路上，其特征在于，该检查器具有：两个超声波振子，它们配设在该管路的上游侧和下游侧；以及控制部，其与该两个超声波振子电连接，该控制部具有振幅计算部、判定部以及振幅范围登记部，振幅计算部根据对由该两个超声波振子的一方产生并在流动于该管路的液体中传播的第一超声波利用该两个超声波振子的另一方进行观测而得到的波形信息计算出该第一超声波的振幅，在该振幅范围登记部中登记有在混入了气泡的该液体中传播的超声波的振幅的范围，在该振幅计算部计算出的该第一超声波的振幅在该振幅范围登记部所登记的该振幅的范围内的情况下，该判定部判定为在该液体中混入了气泡。 2.根据权利要求1所述的检查器，其特征在于，该控制部还具有传播时间计算部和传播时间范围登记部，在该液体中溶解或分散有物质，该传播时间计算部根据对由该两个超声波振子的该一方产生并在流动于该管路的液体中传播的该第一超声波利用该两个超声波振子的该另一方进行观测而得到的波形信息计算出该第一超声波的传播时间，并且，该传播时间计算部根据对由该两个超声波振子的该另一方产生并在流动于该管路的液体中传播的第二超声波利用该两个超声波振子的该一方进行观测而得到的波形信息计算出该第二超声波的传播时间，该传播时间计算部对该第一超声波的传播时间和该第二超声波的传播时间进行平均而计算出平均传播时间，在该传播时间范围登记部中登记有在按照不是规定浓度的浓度溶解或分散有物质的该液体中传播的超声波的平均传播时间的范围，在该判定部未判定为在该液体中混入了气泡、并且该传播时间计算部所计算出的该平均传播时间在该传播时间范围登记部所登记的该平均传播时间的范围内的情况下，该判定部判定为该液体的浓度不是规定浓度。 3.根据权利要求1或2所述的检查器，其中，该检查器还具有对该液体的温度进行测量的液体温度测量器，该液体温度测量器对在该管路中流动的液体的温度进行测量，并将该液体的温度传递至该判定部，该判定部参照该液体的温度对判定的内容进行校正。 4.一种液体提供装置，其具有：该管路；该液体的提供源，其与该管路的一端连接；泵，其从该液体的提供源向该管路的另一端提供该液体；以及设置在该管路上的权利要求1至3中的任意一项所述的检查器。 5.一种保护膜包覆装置，其将液态树脂包覆在晶片的正面上而形成保护膜，其特征在于，该保护膜包覆装置具有：能够旋转的卡盘工作台，其对晶片进行保持；以及权利要求4所述的液体提供装置，其对该卡盘工作台所保持的晶片的正面提供该液态树脂。
所属类别：	发明专利