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原文传递浓度检测方法以及压力式流量控制装置

专利名称：	浓度检测方法以及压力式流量控制装置
摘要：	本发明提供一种浓度检测方法，为检测混合气体中所包含的规定气体的浓度的方法，包含：在具备节流部、设置于节流部的上游侧的上游阀以及测量节流部与上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在节流部的下游侧的压力比节流部的上游侧的压力低的状态下使混合气体从上游阀的上游侧流动的工序；通过压力传感器检测使上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于压力下降特性检测混合气体中的规定气体的浓度的工序。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	日本;JP
申请人：	株式会社富士金
发明人：	永濑正明;相川献治;平田薰;今井嵩浩;成富哲央;篠原努;松田隆博;西野功二
专利状态：	有效
申请日期：	2017-09-27T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-21T00:00:00+0800
申请号：	CN201780032276.X
公开号：	CN109791099A
代理机构：	北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：	刘春成;刘春燕
分类号：	G01N9/26(2006.01);G;G01;G01N;G01N9
申请人地址：	日本国大阪府
主权项：	1.一种浓度检测方法，其特征在于，所述浓度检测方法为混合气体中所包含的规定气体的浓度检测方法，所述浓度检测方法包含：在具备节流部、设置于所述节流部的上游侧的上游阀以及测量所述节流部与所述上游阀之间的压力的压力传感器的压力式流量控制装置中，在所述节流部的下游侧的压力比所述节流部的上游侧的压力低的状态下，所述混合气体从所述上游阀的上游侧流动的工序；通过所述压力传感器检测在使所述上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性的工序；以及基于所述压力下降特性检测所述混合气体中的所述规定气体的浓度的工序。 2.根据权利要求1所述的浓度检测方法，其特征在于，检测所述规定气体的浓度的工序包含：将所述规定气体在规定浓度时检测出的所述压力下降特性与所述规定浓度建立关联并作为基准压力下降特性存储于存储装置的工序；以及通过将检测出的所述压力下降特性与存储于所述存储装置的所述基准压力下降特性进行比较，从而检测所述规定气体的浓度的工序。 3.根据权利要求1或2所述的浓度检测方法，其特征在于，所述压力下降特性由下述时间规定：在使所述上游阀变化为关闭之后，所述压力传感器所示的压力下降至规定压力为止需要的时间。 4.根据权利要求1或2所述的浓度检测方法，其特征在于，所述压力下降特性由下述压力规定：在使所述上游阀变化为关闭之后，经过规定时间后到达的压力。 5.根据权利要求1至4中的任一项所述的浓度检测方法，其特征在于，所述压力下降特性在满足临界膨胀条件的条件下被检测出。 6.根据权利要求1至5中的任一项所述的浓度检测方法，其特征在于，所述混合气体包含稀释气体和原料气体，作为所述规定气体检测所述原料气体的浓度。 7.根据权利要求1至6中的任一项所述的浓度检测方法，其特征在于，所述上游阀为用于调整所述混合气体的流量的控制阀。 8.一种压力式流量控制装置，其特征在于，具备节流部、设置于所述节流部的上游侧的上游阀、测量所述节流部与所述上游阀之间的气体压力的压力传感器以及接收所述压力传感器的输出的控制器，且以混合气体从所述上游阀的上游侧流动的方式构成，所述控制器根据所述压力传感器的输出，判别在使所述上游阀从打开变化为关闭之后产生的压力下降特性，基于所述压力下降特性检测所述混合气体中的规定气体的浓度。
所属类别：	发明专利