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原文传递一种液囊压力罐

专利名称：	一种液囊压力罐
摘要：	本发明属于半导体化学药液供应领域，具体地说是一种液囊压力罐，包括压力罐本体、液囊组件及称重传感器，液囊组件容置于压力罐本体内，包括液囊、吸管、液囊连接盖、进液口及出液口，液囊位于压力罐本体内、与压力罐本体相对独立，顶端通过液囊连接盖与压力罐本体连接，液囊连接盖上分别密封连接有进液口及出液口，进液口的下端连接有插入液囊内的高压气管B，出液口的下端连接有插入液囊内的吸管；压力罐本体上密封连接有进气口，进气口的上端与大气相通，下端连接有插入压力罐本体内的高压气管A。本发明减少了化学药液与空气等气体的接触，降低了化学药液应用过程中气泡的析出及在空气中变质，提高了晶圆工艺质量。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	辽宁;21
申请人：	沈阳芯源微电子设备股份有限公司
发明人：	王冬
专利状态：	有效
申请日期：	2017-11-17T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-24T00:00:00+0800
申请号：	CN201711144975.1
公开号：	CN109795817A
代理机构：	沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人：	白振宇
分类号：	B65D90/48(2006.01);B;B65;B65D;B65D90
申请人地址：	110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
主权项：	1.一种液囊压力罐，其特征在于：包括压力罐本体(1)、液囊组件(6)及称重传感器(8)，其中液囊组件(6)容置于压力罐本体(1)内，包括液囊(11)、吸管(10)、液囊连接盖(12)、进液口(14)及出液口(15)，该液囊(11)位于所述压力罐本体(1)内、与压力罐本体(1)相对独立，顶端通过所述液囊连接盖(12)与压力罐本体(1)连接，所述液囊连接盖(12)上分别密封连接有进液口(14)及出液口(15)，该进液口(14)的下端连接有插入所述液囊(11)内的高压气管B(9)，所述出液口(15)的下端连接有插入液囊(11)内的吸管(10)；所述压力罐本体(1)上密封连接有进气口(4)，该进气口(4)的上端与大气相通，下端连接有插入所述压力罐本体(1)内的高压气管A(2)；化学药液通过所述进液口(14)注入液囊(11)中，该液囊(11)内的化学药液通过设置于所述压力罐本体(1)内底部的称重传感器(8)称重，所述液囊(11)内的化学药液受到由进气口(4)通入的气体压力而由所述出液口(15)压出。 2.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述吸管(10)的上端与出液口(15)相连，下端位于所述液囊(11)底部的上方。 3.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述高压气管B(9)的上端与进液口(14)相连，下端位于所述液囊(11)内的顶部。 4.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述高压气管A(2)的上端与进气口(4)相连，下端位于所述压力罐本体(1)内的顶部。 5.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述液囊(11)的顶部通过压板(13)与液囊连接盖(12)的下表面连接，该液囊(11)位于所述称重传感器(8)的正上方。 6.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述压力罐本体(1)上设有泄压阀(7)。 7.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述压力罐本体(1)上安装有便于拿放的提手(16)。 8.根据权利要求1所述的液囊压力罐，其特征在于：所述进气口(4)的气体压力大于出液口(15)处的压力。
所属类别：	发明专利