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原文传递光谱测量装置

专利名称：	光谱测量装置
摘要：	本发明公开光谱测量装置(1)，用于过程自动化系统的测量点，包括：宽带光源(2)，其用于通过入口光圈(7)将光辐射到待测量的样品(9)上，其中光的光束形成照射平面(x‑y)；限光器(5)，其将光限制为与所述照射平面(x‑y)成一定角度，特别是90°，由此在该角度下产生不同量的光；色散元件(4)，其用于根据光的波长分离光；和检测器(3)，其用于接收根据光的波长分离的光，其中所述光源(2)将光发送通过样品(9)射向所述入口孔(7)、限光器(5)和色散元件(4)，并且光照射到所述检测器(3)，其中所述检测器(3)被设计为二维检测器并且被定向成使得能够以所述角度，即，特别是90°接收光。
专利类型：	发明专利
国家地区组织代码：	德国;DE
申请人：	恩德莱斯和豪瑟尔分析仪表两合公司
发明人：	比约恩·哈斯;约阿希姆·博勒
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-29T00:00:00+0800
发布日期：	2019-05-24T00:00:00+0800
申请号：	CN201811266516.5
公开号：	CN109799194A
代理机构：	中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人：	蔡石蒙;车文
分类号：	G01N21/25(2006.01);G;G01;G01N;G01N21
申请人地址：	德国盖林根
主权项：	1.一种用于过程自动化系统的测量点的光谱测量装置(1)，所述光谱测量装置(1)包括： -宽带光源(2)，所述宽带光源(2)用于通过入口狭缝光圈(7)将光辐射到待测的样品(9)，其中所述光的光束形成照射平面(x-y)； -限光器(5)，所述限光器(5)将所述光限制为与所述照射平面(x-y)成一定角度，特别是90°，由此在该角度下产生不同量的光； -色散元件(4)，所述色散元件(4)用于根据光的波长分离光；和 -检测器(3)，所述检测器(3)用于接收根据光的波长分离的光，其中所述光源(2)将所述光通过所述样品(9)辐射到所述入口光圈(7)、所述限光器(5)和所述色散元件(4)，并且所述光照射到所述检测器(3)，其中所述检测器(3)被设计为二维检测器，并且被定向成使得在所述角度下，即特别是90°时，能够接收光。 2.根据权利要求1所述的光谱测量装置(1)，其中所述入口光圈(7)包括所述限光器(5)。 3.根据权利要求2所述的光谱测量装置(1)，其中所述限光器(5)是圆锥形的。 4.根据权利要求2所述的光谱测量装置(1)，其中所述限光器(5)是阶梯状的。 5.根据权利要求1所述的光谱测量装置(1)，其中所述限光器(5)布置在光源(2)与色散元件(4)之间。 6.根据前述权利要求中至少一项所述的光谱测量装置(1)，包括至少一个成像系统(8a、8b)，所述至少一个成像系统(8a、8b)用于在所述色散元件(4)的方向上传导来自所述光源(2)的光和/或在所述检测器(3)的方向上传导来自所述色散元件(4)的光。 7.根据权利要求6所述的光谱测量装置(1)，其中所述至少一个成像系统(8a、8b)包括凹面镜。 8.根据前述权利要求中至少一项所述的光谱测量装置(1)，其中所述色散元件(4)包括光栅。 9.根据权利要求5至8中至少一项所述的光谱测量装置(1)，其中所述限光器布置在光源(2)与一个成像系统(8a)之间，并且其中所述成像系统(8a)将所述光从所述光源(2)传导到所述色散元件(4)。 10.根据权利要求5至9中至少一项所述的光谱测量装置(1)，其中所述限光器(5)被设计为光阑。 11.根据权利要求10所述的光谱测量装置(1)，其中所述光阑具有梳状设计。 12.根据前述权利要求中至少一项所述的光谱测量装置(1)，其中所述限光器(5)被设计成使得与所述照射平面(x-y)成一定角度、特别是90°的光是有限的，使得在该角度下，不断产生不同量的光。 13.根据前述权利要求中至少一项所述的光谱测量装置(1)，其中所述测量装置(1)包括测量路径(ME)和参考路径(RE)，其中来自所述光源(2)的光能够经由所述测量路径(ME)和所述参考路径(RE)传导，其中所述参考路径(RE)路过所述样品(9)。 14.根据权利要求13所述的光谱测量装置(1)，其中所述检测器(3)上的、与所述照射平面(x-y)成所述角度、特别是90°的通过所述限光器(5)的所述参考路径(RE)的光在空间上与所述测量路径(ME)的光分离开来。 15.根据权利要求13或14所述的光谱测量装置(1)，其中所述入口光圈(7)包括所述限光器(5)，并且所述参考路径(RE)的光经由光纤耦合到所述限光器(5)。 16.根据权利要求13至15中至少一项所述的光谱测量装置(1)，其中，为了补偿所述光源(2)的光强度波动，通过数学过程、特别是除法将在空间上分离开来的所检测到的所述检测器(3)上的所述参考路径(RE)的光强度与所述测量路径(ME)的光强度相关联。 17.根据权利要求1至16所述的光谱测量装置(1)，其中准直光学系统(10)仅将来自所述光源(2)的空间有限区域、特别是来自所述光源的中心的光成像到所述检测器(3)上。
所属类别：	发明专利