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基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置
| 专利名称： | 基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置。解决了等离子体闪光法对薄膜损伤识别装置的误判问题，技术方案是：用至少三个探测器分别获取空气和薄膜等离子体闪光信号及入射激光信号，以后者为基准，得到空气和薄膜等离子体闪光点燃时间，准确分辨出空气和薄膜等离子体闪光，消除误判。分别采集基准和闪光信号；获取基准和闪光信号起始时刻；以基准和闪光信号起始时刻之差作为闪光点燃时间；测量闪光点燃时间；比较并得出损伤识别判据。本实用新型能够准确进行薄膜损伤识别，并可针对任意薄膜进行测量，测量精度达0.1ns，装置结构简单，可靠性好。本实用新型应用于强激光作用下的光学薄膜损伤判别。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 陕西;61 |
| 申请人： | 西安工业大学 |
| 发明人： | 苏俊宏;黄钉劲;汪桂霞;徐均琪;时凯;梁海锋;杨利红;吴慎将;万文博;李建超 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-09-03T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-05-24T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821433590.7 |
| 公开号： | CN208902611U |
| 代理机构： | 陕西电子工业专利中心 |
| 代理人： | 程晓霞 |
| 分类号： | G01N21/73(2006.01);G;G01;G01N;G01N21 |
| 申请人地址： | 710021 陕西省西安市未央区学府中路2号 |
| 主权项： | 1.一种基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置，由激光器发出的强激光，沿激光出射方向依次经过滤光片、衰减器、聚焦系统到达样品台前的被测薄膜，激光经过聚焦系统聚焦于被测样品台处的薄膜附近，诱导薄膜被击穿而产生等离子体闪光，用探测器接收闪光，能量计实时读取分束器的反射光能量，计算机为操作控制台，其特征在于，所述探测器至少为三个，其中两个分别置于水平面上沿激光出射方向闪光信号的左右对称位置，左侧为薄膜等离子体闪光信号探测器，右侧为空气等离子体闪光信号探测器，另外一个入射激光信号探测器设置在聚焦系统的第一个透镜侧后方，入射激光信号探测器前加设有衰减片组，探测器采集入射激光和等离子体闪光信号并转换为电信号，以上探测器所得信号同步传输至信号接收装置。 2.根据权利要求1所述的基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置，其特征在于，采集入射激光信号的光电探测器工作波段要求为800-1700nm，上升时间小于70ps；采集空气等离体子闪光信号的光电探测器工作波段要求为400-1100nm，上升时间小于150ps；采集薄膜等离体子闪光信号的光电探测器工作波段要求为150-550nm，上升时间小于5ns。 3.根据权利要求1所述的基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置，其特征在于，接收信号装置至少需要三通道，采样率不少于10G sample/s，带宽不小于300MHz，存储深度不小于20M sample。 4.根据权利要求1所述的基于等离子体点燃时间的薄膜损伤判别装置，其特征在于，所述入射激光信号探测器前加设的衰减片组，为两片或两片以上组合，衰减片组的透过率为10％以内。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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