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一种ITO靶材加工用热等静压装置
| 专利名称： | 一种ITO靶材加工用热等静压装置 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种ITO靶材加工用热等静压装置，包括静压仓，所述静压仓下表面两侧设置有减震底座，所述静压仓两侧设置有真空板，且真空板内表壁设置有加压管，所述静压仓顶部设置有密封盖，所述密封盖下表面设置有压合垫片，所述密封盖上表面两侧边缘处对称设置有支架，且支架顶部焊接有提拉把手和与之配套使用的弹簧压板，所述静压仓内部底板上设置有顶杆，且顶杆顶部设置有加热管，所述加热管顶部设置有挂板，所述挂板下表面设置有限位块，且限位块内表面设置有弹簧挂板，所述静压仓内部设置有冷却管。本实用新型中，该热等静压装置整体结构设计简单合理，实现了快速热压以及散热的效果，操作安全灵活，具有较强的实用性。 |
| 专利类型： | 实用新型 |
| 国家地区组织代码： | 江苏;32 |
| 申请人： | 江苏比昂电子材料有限公司 |
| 发明人： | 刘洪浩 |
| 专利状态： | 有效 |
| 申请日期： | 2018-07-20T00:00:00+0800 |
| 发布日期： | 2019-06-04T00:00:00+0800 |
| 申请号： | CN201821150929.2 |
| 公开号： | CN208930477U |
| 代理机构： | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) |
| 代理人： | 冯现伟 |
| 分类号： | B28B3/00(2006.01);B;B28;B28B;B28B3 |
| 申请人地址： | 215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号 |
| 主权项： | 1.一种ITO靶材加工用热等静压装置，包括静压仓(3)，其特征在于，所述静压仓(3)下表面两侧设置有减震底座(6)，所述静压仓(3)两侧设置有真空板(2)，且真空板(2)内表壁设置有加压管(4)，所述静压仓(3)顶部设置有密封盖(10)，所述密封盖(10)下表面设置有压合垫片(12)，所述密封盖(10)上表面两侧对称设置有压力表(9)和温度表(13)，所述密封盖(10)上表面两侧边缘处对称设置有支架(15)，且支架(15)顶部焊接有提拉把手(1)和与之配套使用的弹簧压板(14)，所述静压仓(3)内部底板上设置有顶杆(7)，且顶杆(7)顶部设置有加热管(8)，所述加热管(8)顶部设置有挂板(11)，所述挂板(11)下表面设置有限位块(17)，且限位块(17)内表面设置有弹簧挂板(16)，所述静压仓(3)内部设置有冷却管(5)。 2.根据权利要求1所述的一种ITO靶材加工用热等静压装置，其特征在于，所述加压管(4)共安装有两个，且两个加压管(4)关于静压仓(3)的竖直中线对称。 3.根据权利要求1所述的一种ITO靶材加工用热等静压装置，其特征在于，所述冷却管(5)的横截面为回型结构。 4.根据权利要求1所述的一种ITO靶材加工用热等静压装置，其特征在于，所述加热管(8)的横截面为U型结构。 5.根据权利要求1所述的一种ITO靶材加工用热等静压装置，其特征在于，所述限位块(17)共安装有两个，且两个限位块(17)均处于同一水平面上。 |
| 所属类别： | 实用新型 |
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