专利名称: |
一种钻石线及线锯 |
摘要: |
本实用新型公开一种钻石线,在金属线上固定单晶金刚石钻石颗粒,钻石以电镀的方式固定,钻石颗粒在金属线上以螺纹式的方式分布,同时公开一种线锯,用于晶体切割,组件包含钻石线、线轴、导轮和槽轮,钻石线以螺旋的方式均匀的缠绕在线轴上,钻石线之间保持不打结,绕好钻石线的线轴安装在单线或多线切割机的切割室中,通过导轮的传递将钻石线绕到槽轮上,通过槽轮的运转将钻石线以螺旋的方式排布在槽轮的沟槽里,直至布满每个沟槽,本产品具有切割线速高、切割时间短、切割晶圆弯曲度低、晶圆损伤层低和崩角少,以及断线率低等优点。 |
专利类型: |
实用新型 |
国家地区组织代码: |
福建;35 |
申请人: |
福建晶安光电有限公司 |
发明人: |
王海呈;宋淀垣;陈晓婷;谢斌晖 |
专利状态: |
有效 |
申请日期: |
2017-09-30T00:00:00+0800 |
发布日期: |
2019-06-04T00:00:00+0800 |
申请号: |
CN201721300804.9 |
公开号: |
CN208930497U |
分类号: |
B28D5/04(2006.01);B;B28;B28D;B28D5 |
申请人地址: |
362411 福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园 |
主权项: |
1.一种钻石线,在一条金属线上固定单晶金刚石钻石颗粒,用于切割晶体,其特征在于:固定单晶金刚石钻石颗粒的方式是电镀,所述的钻石颗粒在金属线上以单颗螺纹式的方式分布。 2.根据权利要求1所述的钻石线,其特征在于:所述的螺纹的升角是40~60°。 3.根据权利要求1所述的钻石线,其特征在于:所述的钻石颗粒在金属线上单位螺距内均匀分布15~20颗。 4.根据权利要求1所述的钻石线,其特征在于:所述的钻石颗粒表面经过磨石打磨处理,表面圆润,钻石颗粒的真圆度是0.80~0.87。 5.根据权利要求1所述的钻石线,其特征在于:所述的金属线的直径是0.175~0.185mm,所述的钻石颗粒的粒度是0.2~0.3mm,所述的钻石线的直径是0.175~0.4mm。 6.一种线锯,用于晶体切割,具有线轴、导轮和槽轮,其特征在于:组件包含权利要求1~5任意一项所述的钻石线,钻石线以螺旋的方式均匀的缠绕在线轴上,钻石线之间保持不打结,绕好钻石线的线轴安装在单线或多线切割机的切割室中,通过导轮的传递将钻石线绕到槽轮上,通过槽轮的运转将钻石线以螺旋的方式排布在槽轮的沟槽里,直至布满每个沟槽。 7.根据权利要求6所述的线锯,其特征在于:所述的导轮的铝圈内径是35.75~37.75mm,所述的导轮上聚氨酯表面目视无明显气泡,气泡粒径≤0.5mm,无裂痕和凹坑等缺陷,所述的聚氨酯沟槽目视无明显气泡,气泡粒径≤0.5mm,无裂痕和凹坑等缺陷。 8.根据权利要求6所述的线锯,其特征在于:所述的槽轮通过包胶的方式使其表面布满沟槽,槽轮为渐进式,槽距为0.99~1.01mm。 9.根据权利要求6所述的线锯,其特征在于:所述的钻石线的张力是85~100N。 |
所属类别: |
实用新型 |