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原文传递一种可以调节高度的靶材生产用检测装置

专利名称：	一种可以调节高度的靶材生产用检测装置
摘要：	本实用新型公开了一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，属于检测装置技术领域，其技术方案要点是，包括装置本体、升降装置和弹起装置，装置本体的上端面安装有机箱，机箱的正面开设有储物柜，检测装置包括夹持套环、声波检测器和校准器，声波检测器的左侧连接有夹持套环，校准器安装在声波检测器的上端面，在检测装置对靶材进行检测的时候，夹持套环牢牢固定在伸缩杆上，声波检测器对靶材的表面发射声波，根据靶材所反射的声波对靶材表面的光滑程度进行检测，而校准器会对靶材进行扫描，使得对靶材的检测数据更加精准，在升降装置的配合下，解决了对靶材进行检测的时候，需要将靶材依次通过检测装置进行检测，检测效率较慢的问题。
专利类型：	实用新型
国家地区组织代码：	河南;41
申请人：	河南东微电子材料有限公司
发明人：	王永超
专利状态：	有效
申请日期：	2018-10-25T00:00:00+0800
发布日期：	2019-06-04T00:00:00+0800
申请号：	CN201821736901.7
公开号：	CN208937542U
代理机构：	郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：	边延松
分类号：	G01N29/22(2006.01);G;G01;G01N;G01N29
申请人地址：	450000 河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园1号楼2层
主权项：	1.一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，包括装置本体（1）、升降装置（3）和弹起装置（4），其特征在于：所述装置本体（1）的上端面安装有机箱（2），所述机箱（2）的正面开设有储物柜（203），所述机箱（2）的右侧开设有进料口（201），所述进料口（201）的右侧连接有置物槽（207），所述机箱（2）上端面的左侧安装有升降装置（3），所述升降装置（3）包括气缸（301）、底部支撑架（302）和操作面板（303），所述底部支撑架（302）的内侧安装有气缸（301），所述底部支撑架（302）的上端面安装有操作面板（303），所述底部支撑架（302）的上端面设置有伸缩杆（304），所述伸缩杆（304）位于操作面板（303）的右侧，所述伸缩杆（304）的外侧壁安装有检测装置（305）。 2.根据权利要求1所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述检测装置（305）包括夹持套环（3051）、声波检测器（3052）和校准器（3053），所述声波检测器（3052）的左侧连接有夹持套环（3051），所述校准器（3053）安装在声波检测器（3052）的上端面。 3.根据权利要求1所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述弹起装置（4）包括限位套（401）、平衡架（402）和驱动电机（204），所述驱动电机（204）安装在机箱（2）内，所述限位套（401）的左侧连接有平衡架（402），所述限位套（401）的横截面积小于置物槽（207）的横截面积。 4.根据权利要求3所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述限位套（401）两侧的外侧壁安装有红外线传感器（403），所述红外线传感器（403）位于远离平衡架（402）的一侧，所述红外线传感器（403）的前端信号连接有信号接收器（404），所述信号接收器（404）的左侧与驱动电机（204）通过导线连接。 5.根据权利要求3所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述驱动电机（204）的右侧连接有两根传动杆（205），两根所述传动杆（205）的上端面均安装有三个推板（206），三个所述推板（206）等间距分布。 6.根据权利要求2所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述夹持套环（3051）的半径等于伸缩杆（304）的半径，所述夹持套环（3051）的内壁均匀布满卡齿。 7.根据权利要求1所述的一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，其特征在于：所述机箱（2）的下端面紧密贴合有橡胶垫（202），所述橡胶垫（202）的横截面积等于整个机箱（2）下端面的横截面积。
所属类别：	实用新型